研究院已突破百余项MEMS制造的关键生产工艺，为MEMS传感器的研发中试和代工提供了坚实的技术保障，几年来，研究院先后承担《MEMS系列产品研发及产业化》等一批省市重点研发类项目；同时承担《MEMS全产业链公共服务平台》等一批省市创新公共服务平台项目，研究院累计承担各类纵向课题十余项，获批各类研发资金支持逾千万元。

重点自主研发项目简介

山东半岛国家自主创新示范区（淄博）发展建设资金项目
《MEMS全产业链公共服务平台》项目基于山东半岛自主创新示范区发展定位，融合淄博MEMS产业发展规划与实际现状，强化创新驱动，重点整合国内外先进科技与智力资源，聚集高端科研人才队伍，集中打造覆盖MEMS全产业链的公共服务平台，为实现MEMS产业发展的新突破注入新动能，带动整个产业加快向中高端迈进。

MEMS全产业链公共服务平台架构图

本项目旨在构建完整的MEMS全产业链研发平台，打通MEMS各环节产业链条，在实现自身MEMS技术创新的同时，为MEMS领域相关客户提供齐全的、集中的、专业的MEMS研发各流程所需的服务平台支撑。
平台服务对象面向不同层次的客户群体，从有MEMS结构创新想法的“初级”客户，到已有成品MEMS裸芯片的“终极”客户，MEMS全产业链公共服务平台均有对应的针对性的服务平台与之匹配，对客户进行汇聚分类，逐步形成客户服务库，利于今后更加准确便捷的为目标客户群体提供服务。

同时，每个服务平台根据自身特点，结合所服务客户的成功经验，分别凝聚成果产出，例如知识产权方面、工艺开发方面、产品化与产业化探索方面等，逐级延伸、层层递进，凝练沉淀形成系列成果体系，提升研究院的核心竞争力，使研究院在MEMS自主创新与公共服务模式探索这条道路上越走越实、越走越稳，为国内MEMS全产业链公共服务平台的建立与发展起到示范作用。

MEMS全产业链公共服务平台服务模式图