尤政 研究院名誉院长 教授、清华大学副校长,中国工程院院士、长江学者特聘教授、淄博高新区MEMS研究院名誉院长 中国工程院院士、清华大学党委常委、副校长,校学术、学位委员会委员、清华大学精密仪器系教授、博士生导师、精密测试技术及仪器国家重点实验室(清华)主任、智能微系统技术教育部重点实验室主任、生物医学监测技术及仪器北京实验室主任、未来芯片北京高精尖实验室主任。 1992年获国务院学位委员会,教育部授予的“做出突出贡献的中国博士学位获得者”称号, 1999年受聘教育部长江学者奖励计划特聘教授、享受国务院特殊津贴, 1998- 2000年在英国萨里大学做高级访问教授 , 2005年获人事部授予的"全国优秀博士后”称号并入选国家“新世纪百千万人才工程”, 2013年当选为中国工程院院士。 现任中国微米纳米技术学会理事长,中国仪器仪表学会副理事长,中国计量测试学会副理事长,中国光学工程学会副理事长,国务院学位委员会仪器科学与技术学科评议组召集人,国家科技部对地观测与导航领域专家,军委科技委、国防科工局科技委、教育部科技委委员,军委装备发展部微米纳米技术专业组组长。 在国内率先开展了微纳技术及其空间应用研究,研制了一系列具有国际先进水平的微型华、高性能的空间微系统并实现了在轨应用;同时作为总负责人主持设计、建造、发射和在轨运行"TH一1、NS- 1、 NS一2" 等多颗微纳卫星,先后荣获国家技术发明奖二等奖2项、国家科技进步二等奖2项、国防科技进步二等奖1项、军队科技进步三等奖1项,与国家奖励不重复的教育部和北京市科技奖励5项,授权国家发明专利90余项,发表SCI/EI论文400余篇。出版专著1部，译注2部。

阮勇 执行院长 博士、清华大学机械工程学院副研究员、淄博高新区MEMS研究院执行院长 智能传感器创新联盟副理事长、中国仪器仪表学会物联网.工作委员会理事、中国微米纳米技术学会高级会员 从事微纳米技术研究、特别在MEMS器件和工艺领域成果突出。先后获得全国博:士后基金、教育部博士点基金、973子专题等8项基金项目资助。作为主要成员,参与教育部科学技术研究重大培育项目等项目,已发表论文20余篇,被SCI、EI收录10余篇;申请中国发明专利12项,已经授权6项,教学、科研成绩突出。

第二、MEMS研究院成立的专家技术委员会，对MEMS研究院及平台公司的中长期发展及人才、项目引进给予咨询、指导、监督和检查。

丁衡高 名誉顾问 中国工程院院士、惯性技术和精密仪器专家、中国人民解放军总装备部研究员、兼任中国惯性技术学会理事长、中国微米纳米技术学会名誉理事长、曾担任国防科工委主任。 长期从事导弹自动控制系统及惯性器件的研究、设计、试制生产的技术领导工作。是中国惯性技术学会理事长、中国宇航学会名誉理事长，中国战略导弹惯性技术奠基人之一。1983年被评为研究员。参加了战略导弹的研究、设计、试验和卫星发射的组织领导工作。1986年组织起草制订了中国《高技术研究发展计划》，多年来组织领导中国的战略导弹试验、核试验和卫星发射试验及重大国防科研试验项目。是中共第十二届中央候补委员，第十三、第十四届中央委员。现任南京大学校友总会第五届名誉会长。

王跃林 主任 中科院上海微系统与信息技术研究所副所长。 全国重点跟踪的优秀青年教师，入选新世纪百千万人才工程国家级人选。 在Nano Letters等国内外杂志和会议上发表论文300余篇，其中SCI收录200余篇，SCI他引千余次，获授权发明专利70余项。

黄庆安 副主任 东南大学MEMS教育部重点实验室主任、教授。 2003年获国家杰出青年科学基金资助，2004年被聘为教育部“长江学者奖励计划”特聘教授，2006年入选 “百千万人才工程”国家级人选，201 6年被选为IEEE Fellow。先后，已培养博士32人，硕士65人。

白转石 委员 中航工业陕西宝成航空仪表有限责任公司高级专务、 研究员。 中国航空学会会员， 惯性技术学会会员。先后获得航空工业科学技术奖二等奖1项，3等奖1项，航空报国奖1项。

董宇峰 委员 赛峰集团Colibrys核心技术部(瑞士)首席工程师。 教育部科技进步二等奖1项“高分辨工业X射线CT” 发表高引用率SCI/El论文30篇，出版专著1部ME M S fOrautomotive and aerospace applications,IS BN978- -0- -85709-1 18-5

马岸英 委员 北方智能微机电集团有限公司董事中国兵器工业集团第二一二研究所党委书记。 先后获得国防科技进步一等奖一项，二等奖二项;三等奖三项。

温志渝 委员 教授， 博士生导师。 现任重庆大学机械及光电系统与装备研究院副院长、光电技术与系统教育部重点实验室副主任、重庆大学微系统技术研究中心和重庆市微光机电工程技术研究中心主任、微米/纳米技术专业组专家、模拟集成电路 国家重点实验室学术委员会委员、北京大学微米/纳米技术国家重点实验室学术委员会委员、华北工学院仪器科学与动态测试教育部重点实验室学术委员会委员、重庆市MEMS专家委员会委员、中国微米纳米技术学会常务理事、中国仪器仪表学会传感器分会理事， “传感器技术学报” 编委副主任、“传感器与微系统”、 《微电子学》学术期刊编委等，SensorsandactuatorsA审稿 人等。

苑伟政 委员 西北工业大学机电学院院长;微纳系统教育部重点实验室主任。 2006年获聘 长江学者， 先后获得国家技术发明奖二等奖2项, 国家教学成果一等奖1项。 发表SCI/EI论文232篇，出版专著3部;指导博士生42人。

周六辉 委员 北方电子研究院有限公司副总经理兼中国兵器工业第二一四研究所总经理。 连续获任中国电子学会元件分会第八届、第九届委员;担任安徽省国防科技工业质量管理协会副理事长;获安徽省科技进步二等奖1项;获部级三等功1项; 2001年获国防科技进步二等奖1项;获兵器工业集团公司科技进步一等奖1项; 2002年获得国防科技进步一等奖1项; 2008年获兵器工业集团公司科技进步三等奖1项;连续荣获兵器行业质量管理小组卓越领导者称号。

李耀国 委员 中航工业北京青云航空仪表有限公司副总经理兼总工程师。 享受国务院政府津贴专家;2015年度北京市劳动模范。 先后获得国防科技进步三等奖1项、省部级科学技术成果三等奖2项。

陈智刚 委员 中北大学地下目标毁伤技术国防重点学科实验室副主任。 先后获得省部级一等奖1项、二等奖2项;发表SCI/EI论文32篇，出版专著2部;指导博士生9人。2004.04由兵器工业出版社出版专著《爆炸及其终点效应》。多年来，主持承担各类纵横向科研项目三十余项，包括国家自然科学基金1项、国家留学人员基金1项、中国博士后基金1项等，完成省部级鉴定三项，获省部级奖一项，获国家发明专利四项，在《华北工学院学报》、《机器制造》、《弹箭与制导学报》、《弹道学报》等国内各类期刊和ISTM国际会议上发表各类学术论文20余篇，其中El、ISTP收录5篇。2003.09获院“三育人”先进个人。

1、周斌，清华大学机械工程学院教师，博士，副研究员。长期从事微机械惯性仪表及系统的研制工作，主攻微机械陀螺技术，已获多项专利授权、发表多篇学术论文，于2018年8月被聘任为“淄博高新区MEMS研究院项目专家”。
2、杨振川，北京大学信息学院教师，博士，教授。长期从事微机电系统（MEMS）研究工作，主持完成多项国家级、省部级研究项目。在惯性器件、微纳加工技术方面取得了重要研究成果，于2018年8月被聘任为“淄博高新区MEMS研究院项目专家”。
3、王玮，北京大学微纳电子学院副院长，博士，长期从事微纳加工技术研究工作。
4、韩琳，山东大学海洋研究院教师，博士，教授，山东大学齐鲁青年学者，山东省杰出青年基金获得者，曾任耶鲁大学生物医学工程系副研究员，Isoplexis公司首席科学家，主要从事微电子-生物医学交叉学科的研究，研发基于微纳加工技术，构建小样本、高通量、高性能、多通道微纳生物芯片，对单细胞或极低浓度的生物分子信息进行检测分析研究，于2018年8月被聘任为“淄博高新区MEMS研究院项目专家”。
5、侯智昊，沈阳航空航天大学电子信息工程学院教师，博士，副教授，长期从事微电子MEMS技术研究，已获多项专利授权、发表多篇学术论文，参与编写出版著作1本，于2018年8月被聘任为“淄博高新区MEMS研究院项目专家”。
6、刘玉菲，重庆大学光电工程学院教师，博士，教授，中组部第十一批“千人计划”青年学者。主要研究方向微纳加工、微纳器件以及智能微系统，发表学术论文30余篇，申请国内外发明专利10余项，先后被授予和主持威尔士杰出青年基金（ESDF），英国工程与自然研究理事会交叉学科创新基金（EPSRC Bridging the GapsEscalator Fund）、英国工程与自然研究理事会健康科学创新基金（EPSRC TechealthInnovation Fund）等。其科技成果已实现销售超千万美元，并获得英国技术战略委员会（TSB）明日商业之星提名，于2018年8月被聘任为“淄博高新区MEMS研究院项目专家”。
7、叶双莉，武汉大学包装与印刷系教授，博士。研究方向：低维纳米材料与纳米传感器。J. Appl. Phys, J.Nanotechnogy, IOP及IEEE等杂志的审稿人，完成多项国家级、省部级研究项目。于2018年8月被聘任为“淄博高新区MEMS研究院项目专家”。
8、刘峰，武汉大学动力与机械学院副教授，博士。2008年至2014年任职于武汉大学微电子与信息技术研究院，2014年到2015年在美国加州大学河滨分校从事访问学者研究工作，至今任职于武汉大学动力与机械学院。主要研究方向有微机电系统、射频集成电路及可穿戴电子，先后主持及参与国家重点研发计划、国家自然科学基金、GF项目及省部级项目十余项，发表学术论文60余篇，其中SCI检索论文30篇，授权国家发明专利10项。于2018年8月被聘任为“淄博高新区MEMS研究院项目专家”。
9、孙华君，山东平度人，九三学社，教授，博士生导师。现任武汉理工大学硅酸盐建筑材料国家重点实验室副主任，武汉理工大学淄博先进陶瓷研究院院长。多年来主要从事压电铁电陶瓷、多铁性材料等相关方面研究。作为主持人承担国家级纵向项目5项，其中国家自然科学面上项目3项；山东省地方发展项目5项，湖北省自然科学基金1项；青年基金1项，国防重点实验室开放基金1项，中央高校自主创新基金1项；在研和已验收完成军品和民口配套项目10余项。在相关领域发表SCI收录论文70余篇；申请国家发明专利10余项，已经授权8项。
10、马盛林，厦门大学副教授，博士。2018年1月起至现在受聘为北京大学微米/纳米加工技术国家级重点实验室客座研究员，从事集成电路先进封装（TSV、3D SIP、WLP、MEMS）、三维集成射频微系统封装、植入电子微系统封装、三维光电集成封装等方向研究工作。2017年３月开始在厦门市经济和信息化局装备和电子产业处依次担任处长助理、副处长职务，。完成多项国家级、省部级研究项目，发表论文30余篇、申请发明专利20余项。于2018年8月被聘任为“淄博高新区MEMS研究院项目专家”。
11、贺学锋，博士，教授，博士生导师。国家自然科学基金通讯评审专家，中国微米纳米技术学会高级会员。研究主要集中于微纳能源系统、微纳加工工艺、柔性电子学、微纳机器人等。作为主研人员参与国家级和省部级项目10余项。发表学术论文50余篇。于2018年8月被聘任为“淄博高新区MEMS研究院项目专家”。
12、栗大超，天津大学精密仪器工程系教授，院长助理，博士生导师。从事生物信息检测技术及仪器领域的研究工作。2013年入选教育部“新世纪优秀人才支持计划；2014年获得“教育部技术发明一等奖”； 2015年入选天津大学“北洋青年学者支持计划”；中国高等教育学会测控技术专业委员会委员；天津市便携式医疗电子设备企业重点实验室学术委员会委员。完成多项国家级、省部级研究项目。于2018年8月被聘任为“淄博高新区MEMS研究院项目专家”。
13、苗君，北京科技大学材料工程学院教授，博士生导师。主要研究方向：新一代超高密度信息材料研究、信息功能材料与新型电子元器件、高通量组合薄膜芯片、多功能氧化物材料等。在P.R.B.，A.P.L.，J.A.P. 等国际物理期刊上发表论文40余篇。获霍英东高校教育基金奖（2011年）；教育部新世纪优秀人才计划（2013年）。
14、滕蛟，北京科技大学教授，博士。
15、崔波，教授，加拿大籍华人专家，现任职于加拿大滑铁卢大学。主要研究方向：微米纳米探针。